عنوان مقاله | فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن | ||
نشریه |
استقلال شهریور 1382 | ||
نویسنده |
صدوق ونینی سیدعلی | ||
حجم فایل |
203 کیلو بایت | ||
دریافت مقاله |
کلمات کلیدی :
فلزینه کاری ، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چندلایه
چکیده مقاله :
بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستم های نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده میشود مانند سیکلوتن ممکن است. در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی میشود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه میشود.
تاریخ : پنج شنبه 87/5/24 | 11:28 صبح | نویسنده : مهندس سجاد شفیعی | نظرات ()