سفارش تبلیغ
صبا ویژن
عنوان مقاله  فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن

نشریه

استقلال شهریور 1382

نویسنده

 صدوق ونینی سیدعلی

حجم فایل

203 کیلو بایت

دریافت مقاله

دریافت مقاله



کلمات کلیدی :

 فلزینه کاری ، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چندلایه


چکیده مقاله :

 بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستم های نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می‌شود مانند سیکلوتن ممکن است. در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می‌شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می‌شود.






تاریخ : پنج شنبه 87/5/24 | 11:28 صبح | نویسنده : مهندس سجاد شفیعی | نظرات ()
.: Weblog Themes By BlackSkin :.