نانو پوششهای بر پایه کربن؛ بررسی خواص مکانیکی و کاربردهای آن

خلاصه :
نانوپوششهای بر پایه کربن خواص ویژهای نظیر سختی و مقاومت سایشی بالا، مقاومت شیمیایی و خواص سایشی خوب دارند. متغیرهایی که خواص این نانوپوششها را تحت تأثیر قرار میدهند عبارتند از:میزان اتم H، میزان مواد آلاییده مانند Si, F, N, B, O و نوع هیبرید پیوندهای کربن (پیوند SP, SP2, SP3). در این مقاله مروری، به سه نوع از این نانوپوششها پرداخته میشود:(الف) a-C:H: پوششهای کربن هیدروژن دار شده آمورف با مخلوطی از پیوندهای SP2 و SP3، مواد با پیوندهای SP3 زیاد (ta-C) و کربن با پیوند SP2، (ب) پوششهای نیترید کربن (CNx) و (ج) پوششهای کامپوزیتی کربنی آمورف/ فلز (a-C:Me). تمرکز این مقاله مروری بر خواص نانومکانیکی در بارپذیری پایین، نانوپوششهای a-C، a-C:H، CNx، ta-C و a-C:Me است. در چند سال اخیر برای پوششهای ta-C و a-C:Me دادههای جدیدی ارائه شده که در این مقاله مورد بحث قرار گرفته است.